净化工程——洁净室中的温湿度控制

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，岩棉夹芯板，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

净化工程——洁净室防静电

洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。

所谓静电，是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负<一）电荷等量的均匀的电中性状态，而使电荷过剩，物体呈带电状态，由于这些电荷平时是不流动的，岩棉夹芯板机器，故称静电。静电电引起的静电电ji，引起人的不安全和恐惧感，岩棉夹芯板厂家，并可造成二次伤害(例如人因受电ji而摔倒，由摔倒又致伤)；

净化工程——洁净室

洁净室内应保证一定的新鲜空气量，岩棉夹芯板设备，其数值频取下列风量中的da值；

1、乱流洁净室总送风量的10%～30%，层流洁净室总送风量的2～4%。

2、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。

3、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。

四、洁净室正压控制

1、洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于5Pa，洁净区与室外的静压差，应不小于10Pa。